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硅片过程检验培训PPT课件第一页，共33页。目录： 1.引言 2.电池片过程检验标准 3.过程检验作业指导书第二页，共33页。引言硅片检验主要分为三类： 1.硅片来料检验 2.电池片生产过程检验 3.电池片出货检验第三页，共33页。引言硅片来料检验设备：第四页，共33页。引言硅片来料检验设备：第五页，共33页。引言硅片来料检验目的： 保证进货的原材料满足规定的要求，防止不合格品流入生产流程造成不必要的损失。(确保合格的产品提供给生产部门)第六页，共33页。引言硅片来料检验主要项目： 1.电学部分： 厚度/电阻率测试 少子寿命测试第七页，共33页。引言2.光学部分： 几何尺寸 垂直性 硅片破裂（包括崩边、裂痕、V型缺口） 表面脏污 空洞与隐裂第八页，共33页。引言相关硅片实例：第九页，共33页。引言电池片生产过程检验目的： 防止过程中出现批次性问题，避免不合格品流入下道工序。保证电池片生产工艺过程、操作过程均满足规范要求，保证生产的稳定性及规范性，保证产品效率及成品率。第十页，共33页。引言电池片生产主要过程介绍： 第十一页，共33页。引言电池片生产过程检验主要相关设备：第十二页，共33页。电池片过程检验标准主要分为以下几个控制点：1.前期准备工作检查2.制绒清洗后；3.扩散后；4.等离子刻蚀后；5.去磷硅玻璃清洗后；6.PECVD后；7.丝网烧结后；8.电池片性能测试分档后