物理基础课件-薄膜干涉.pptVIP

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2023-01-09 发布于未知
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物理基础课件-薄膜干涉.ppt

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一、劈形膜 SM劈尖角明纹暗纹干涉条件为 1 在劈形膜棱边处 ,e=0因而形成暗纹。 2 相邻两条明纹(或暗纹)在劈形膜表面的距离。 L讨论 3、干涉条纹的移动每一条纹对应劈尖内的一个厚度，当此厚度位置改变时，对应的条纹随之移动。空气的折射率 1）用劈形膜干涉测量薄片厚度应用： 2)比较两个块规空气的折射率 AS 3）检验光学元件表面的平整度二、牛顿环牛顿环干涉图样显微镜SL M半透半反镜T 光程差明纹暗纹Rre暗环半径明环半径 1)利用牛顿环检查透镜质量应用：LG样板待测凸透镜光圈的圈数越多，说明透镜与样板的差异越大；光圈的圈数越少，说明透镜与样板的差异越小。 2）在实验室中，常用牛顿环测定光波的波长或凸透镜的曲率。三、单层增透膜由于反射光干涉相消，所以透射光增强，这样的膜称为单层增透膜。光程差为例10-1 在半导体元件生产中，为了测定硅片上SiO2薄膜的厚度，将该膜的一端腐蚀成劈尖状，如图所示。已知SiO2的折射率n =1.46，用波长的钠光照射后，观察到SiO2劈尖上出现9道暗纹,且第9道在劈尖斜坡的上端点M，硅的折射率为3.42。试求SiO2薄膜的厚度。 M已知：求：解：由于在SiO2上、下表面反射的光均是从光疏介质入射到光密介质，都有半波损失，所以光程差为：出现暗纹的条件为： (k = 0,1,2,…) 当k = 0时，对应第一条暗纹第9条暗纹，对应于k=8，代入上式得：