MOCVD设备分析和总结.docx

MOCVD 设备 概况 德国 AIXTRON 公司（德国艾思强公司）和美国 VEECO 公司（美国维易科精密仪器有限公司） 两家公司几乎生产了全球 90％以上的主流 MOCVD 设备。 1、生产效率和成本概况 国际上 MOCVD 技术已经相当成熟，主流设备从 2003 年 6-8 片机、2004 年 12 片机、2005 年 15 片机、2006 年的 21-24 片机，目前已经达到 42、45、49 片机（一次可装载 49 片 2 英寸的衬底生长外延）。 外延炉容量的不断扩大让 LED 外延片生产商的单位生产成本快速大幅下降。目前，量产企业对单批产能的最低要求是在 30 片以上。 国产设备目前为 6 片机，生产效率和生产成本差距甚远。2、价格及产值概况 生产型 MOCVD 设备的售价高达 1000～2000 万元【根据机型，6 片机 70 万美元左右，9 片机 100 万美元左右】，加上相关配套设备设施，一条产线 LED 生产线需要投入 4000 多万元。 若新采购设备为 45 片机生产蓝光芯片，按 3 炉/天计算，年产 4 .9 万片左右，收入 4800 万元，投入产出基本为 1:1。 3、生产过程工艺复杂，参数众多，优良率与均匀性是关键 外延片生长过程工艺复杂，参数众多，培养专业操作人员需时间较长。 一个最简单的 GaN 蓝光 LED 单量子阱结构，其生长工艺包括：高烘烤、缓冲层、重结晶、n -GaN、阱层、叠层及 p-GaN 等，工艺步骤达几十步，每一步需调整的工艺参数共有 20 多个， 各参数之间存在比较微妙的关系，工艺编辑人员需根据工艺要求，对各个参数进行逐一调整， 必要时还要进行计算，如升速度、升压速度、生长速率控制、载气与气源配比等。如何根据工艺需要自动对参数进行检查，减轻工艺人员的工作量，是值得研究的新兴课题。 每个外延芯片、生产批次与系统之间的关系，能确保良好的均匀性以及优良率，尤其在芯片厂商扩产时，还能维持相同的优良率与均匀性就显的特别关键。 4、4 英寸MOCVD 设备将成为主流 现阶段台湾外延厂商在技术上已经具备生产 4 英寸和 6 英寸的能力，但是出于成本的考虑， 多数台湾厂家还是以 2 英寸的 MOVCD 设备为生产主线；大部分欧美与韩国厂商则早已使用 4 英寸 MOVCD 设备。 市场预期一旦 4 英寸外延片材料成本大幅崩落（目前 4 英寸外延片的成本价格约为 2 寸外延片的四倍），2 英寸的 MOCVD 设备将逐渐被 4 英寸所取代。 AIXTRON 与 SemiLEDs 在 2009 年 5 月就合作开发出 6 寸蓝光 LED 芯片，在 6x6 寸 AIX 2800G 4 HT MOCVD 反应炉的结构上，产量增加约 30％（相较于传统 42x2-inch 的架构），不但均匀性较好，也减少了边缘效应（edge effect）。不过就现阶段而言，大多数的困难仍然在于 6 寸的基板价格偏高与外延片切割技术的挑战。 一、MOCVD 设备市场情况 1、设备供应商概况 目前国际上主要的 MOCVD 设备供应商有两家： ① 德国 AIXTRON 公司（德国艾思强公司） 根据 Gartner Dataquest 最近的一份分析报告，2008 年 AIXTRON 公司MOCVD 复合半导体设备的全球占有率达到 72％。 目前，AIXTRON 公司最先进的独特的行星转盘技术应用在大型 G4 2800HT 42*2”以及 Thoma s Swan（1999 年被 AIXTRON 收购） CCS Crius 30*2” MOCVD 系统，使得AIXTRON 的 MOCVD 设备被公认为世界上技术和商业价值最完美的结合。 ② 美国 VEECO 公司 美国维易科精密仪器有限公司占 20％以上，其中主打机型 45 片机 K465 已经销售超过 100 台，至今 K 系列 MOCVD 产品全球销售超过 200 台。80％的世界顶尖 LED 企业已经采用 K465 型号的 MOCVD，截止到目前，VEECO 于中国地区大有斩获，累计 MOCVD 出货已达 85 台。 VEECO 的 MOCVD 主要有以下优势： 首先，它是量产型机器，能有效提高量产的时间，减少清洗和维护的时间和次数。因为开仓清洗过程需要从高达 1000 摄氏度的度冷却后清洗，然后再将度升高至 1000 摄氏度，需要浪费不少的时间。 第二，自动化程度高，减少人为操作。例如可自动化导入，机械手在生产完成后可自动更换蓝宝石等，属于量产型的设计。 第三，保护设备投资，防止落伍。避免将来由于新的设备出现，造成旧设备的落伍。通过计划与客户充分沟通，新的设备与旧的设备联繫在一起，提升产品的良率。 今年以来由于 MOCVD 机台供不应求的状况，使得 VEECO 在这段期间