光学薄膜技术简介.pptxVIP

光学薄膜技术简介会计学第1页/共24页光学薄膜的作用及回顾光学薄膜在光学系统中的作用就是功能函数 光学薄膜发展的三个跃迁点:1.真空的实现(1930)2.激光的出现(1962)3.光通讯技术的推动(1997)第2页/共24页光学薄膜从设计到制备过程根据设计输入及经验确立膜系结构使用设计软件并人为引导优化的方向进行设计依据设备特点制定控制策略测试制备结果反演过程及调整控制策略第3页/共24页光学薄膜设计输入：使用条件（入射角，入射介质，基片材料），光性要求（工作波长，反射率，透过率，偏振态，位相，颜色等）输出：膜系，广义的是可直接执行的程序（RUNSHEET，包括控制方式及设置）验证：（间接）分光光度计。评价设计的标准: (容限,材料的种类,工艺时间)Photop Confidential第4页/共24页Photop Confidential矩阵法第5页/共24页第6页/共24页反射率透射率吸收率 反射相移第7页/共24页矢量法如果忽略膜层内的多次反射，则合成的振幅反射系数由每一界面的反射系数的矢量和确定。每个界面的反射系数都联带着一个特定的相位滞后，它对应于光波从入射表面进至该界面又回到入射表面的过程 第8页/共24页麦克劳得导纳图解技术简介如果从基片开始通过每一层膜直到多层膜的前表面，把 平行于基片的任意平面处的光学导纳画在一复平面上则描述了整个生长过程中多层膜导纳的变化轨迹。对