真空层压装置及真空层压方法.pdfVIP

（19）中华人民共和国国家知识产权局 （12）发明专利申请 （10）申请公布号 CN1630104A （43）申请公布日 2005.06.22 （21）申请号CN200410096284.5 （22）申请日2004.11.26 （71）申请人富士电机控股株式会社 地址 日本川崎市 （72）发明人横山康弘 （74）专利代理机构北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人龙淳 （51）Int.CI H01L31/04; H01L31/18; 权利要求说明书 说明书 幅图 （54）发明名称 真空层压装置及真空层压方法 （57）摘要 本发明涉及真空层压装置，在基底材料 (11)的凹凸部(11a)上设置太阳能电池组件(未图 示)，由盖部件(14)密闭处理空间，由框体(12)的 排气口(12h)对处理空间内的气体排气，盖部件 (14)将太阳能电池组件推压向基底材料(11)，促 进脱气。此时基底材料(11)的凹凸部(11a)成为通 气层，进一步促进太阳能电池组件的脱气。由此