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一种多工位真空退火机，包括机架、设于机架上的工作台、多个设于工作台上的抽真空室、与多个抽真空室分别相连通的抽真空机构、对其中一个或多个抽真空室进行加热的加热机构、驱动抽真空室与加热机构相对移动的驱动机构。抽真空室包括设于工作台上的底座、能够与底座密封配合的上罩盖，底座与所述抽真空机构相连通。加热机构包括升降模块、设于升降模块下端部的电磁加热线圈，电磁加热线圈位于其中一个或多个抽真空室正上方。本实用新型的多工位真空退火机，可以对工件进行单独的加热退火，使对待退火工件受热均匀，提高退火质量；且能够加
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212293657 U
(45)授权公告日 2021.01.05
(21)申请号 202022037029.0
(22)申请日 2020.09.16
(73)专利权人 康普斯顿（江苏）技术有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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