Pd掺杂的SnO_(2)甲烷传感器气敏性能的研究.pdfVIP

Ｐｒｅｌｉｍｉｎａｒｙ Ｓｔｕｄｙ ｏｎ ｔｈｅ Ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ ｏｆ Ｐｄ￣Ｄｏｐｅｄ ＳｎＯ Ｍｅｔｈａｎｅ Ｓｅｎｓｏｒ ２ Ａｂｓｔｒａｃｔ:Ｔｈｅ ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ ｏｆＰｄｄｏｐｅｄＳｎＯ ｔｏｍｅｔｈａｎｅｇａｓｗａｓｓｔｕｄｉｅｄ.Ｆｉｒｓｔｌｙꎬｔｈｅｒｅａｓｏｎｏｆ ｄｏｐｉｎｇＰｄｍｅｔａｌｉｓｅｘ￣ ２ ｐｌａｉｎｅｄ ｆｒｏｍ ｔｈｅ ｍｅｃｈａｎｉｓｍ. ＴｈｅｎꎬＰｄ￣ｄｏｐｅｄ ＳｎＯ ｃｏｍｐｏｓｉｔｅｓ ａｒｅ ｐｒｅｐａｒｅｄ ｂｙ ｓｉｍｐｌｅ ｍｉｘｅｄ ｇｒｉｎｄｉｎｇ ｐｒｏｃｅｓｓ.２ Ｔｈｉｒｄｌｙꎬｔｈｅ ｇａｓ ｓｅｎｓｉｎｇ ｌａｙｅｒ ａｒｅｐｒｅｐａｒｅｄｏｎｔｈｅｈｅａｔｅｄｐｌａｔｅｅｌｅｃｔｒｏｄｅｂｙ ｂｒｕｓｈ ｃｏａｔｉｎｇｐｒｏｃｅｓｓ.Ｔｈｅ ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ ｏｆ ｔｈｅ ｐｒｅｐａｒｅｄＰｄｄｏｐｅｄ ＳｎＯ ｓｅｎｓｏｒｔｏｍｅｔｈａｎｅａｔ ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｓｉｓｓｔｕｄｉｅｄ.Ｔｈｅｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗ ｔｈａｔ Ｐｄｄｏｐｉｎｇ ２ ｃａｎｎｏｔｏｎｌｙｉｍｐｒｏｖｅｔｈｅｇａｓｓｅｎｓｉｎｇｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｏｆ ＳｎＯ ꎬｂｕｔａｌｓｏｒｅｄｕｃｅｉｔｓｗｏｒｋｉｎｇｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅꎻＡｍｏｎｇｔｈｅｍꎬｔｈｅ２ ｓｅｎｓｏｒ ｗｉｔｈ ２ｗｔ％ＰｄｄｏｐｅｄＳｎＯ ｈａｓｔｈｅｂｅｓｔｇａｓｓｅｎｓｉｎｇｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ.Ａｔｔｈｅｂｅｓｔｗｏｒｋｉｎｇｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ(２００ ℃)ꎬ ２ －６ × ｔｈｅ ｇａｓ ｓｅｎｓｉｎｇ ｒｅｓｐｏｎｓｅｖａｌｕｅｔｏ５００ １０ ｍｅｔｈａｎｅ ｃａｎｒｅａｃｈ３.４３ꎬａｎｄｔｈｅ ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ ｉｓｉｎｃｒｅａｓｅｄｂｙ４５.６７ ｔｉｍｅｓ －６ －６ × × (５０ １０ ~１０００ １０ ). Ｋｅｙ ｗｏｒｄｓ:ｇａｓ ｓｅｎｓｏｒꎻＭｅｔｈａｎｅꎻＰｄ ｄｏｐｉｎｇꎻＳｎＯ ꎻＳｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙꎻＳｅｎｓｉｔｉｖｅ ｍｅｃｈａｎｉｓｍ２ Ｐｄ掺杂的ＳｎＯ 甲烷传感器气敏性能的研究２ 摘　 要:本文研究了Ｐｄ掺杂的ＳｎＯ 材料对于甲烷气体的敏感特性ꎮ 首先从机理上说明掺杂Ｐｄ金属的原因ꎻ然后ꎬ采用简 ２ 单的混合研磨工艺制备了Ｐｄ掺杂ＳｎＯ 复合材料ꎻ接着ꎬ采用刷涂工艺在加热型平板电极上制备了气敏层ꎮ 研究了所制备的 ２ Ｐｄ掺杂ＳｎＯ 气体传感器在不同温度对甲烷气体的敏感特性ꎮ 结果表明ꎬＰｄ掺杂在提高ＳｎＯ 的气敏性能的同时还能降低其 ２ ２ －６ × 工作温度ꎻ其中ꎬ２ ｗｔ％Ｐｄ掺杂ＳｎＯ 的传感器气敏性能最优ꎬ在最佳工作温度(２００ ℃)下对５００ １０ 甲烷的气敏响应值可达 ２ －６ －６