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会计学1 薄 膜 光 学——基础理论矢量法如果忽略膜层内的多次反射，则合成的振幅反射系数由每一界面的反射系数的矢量和确定。每个界面的反射系数都联带着一个特定的相位滞后，它对应于光波从入射表面进至该界面又回到入射表面的过程第1页/共61页 薄 膜 光 学——基础理论矢量法如果膜层没有吸收那么各个界面的振幅反射系数为实数各层薄膜的位相厚度为:第2页/共61页 薄 膜 光 学——基础理论矢量法 矢量法的计算步骤是首先计算各个界面的振幅反射系数和各层膜的位相厚度，把各个矢量按比例地画在同 一张极坐标图上，然后按三角形法则求合矢量． 求得的合矢量的模即为膜系的振幅反射系数，幅角就是反射光的位相变化而能量反射率是振幅反射系数的平方。 若在所考虑的整个波段内，忽略膜的色散，则对于所有波长振幅反射系数r1，r2、r3和r4均相同。第3页/共61页 薄 膜 光 学——基础理论矢量法 为了避免在作矢量图时方向混乱，我们可以规定： 1． 矢量的模r1, r2, r3, r4…，正值为指向坐标原点负值为离开原点． 2． 矢量之间的夹角仅决定于膜层的光学厚度和所考察的波长(即决定于膜层的位相厚度)按逆时针方向旋转。界面上的位相跃变已经包含在振幅反射系数的符号中，不必另作考虑。图解法的步骤：1． 在极坐标图上画出各个矢量；2． 平行移出构成矢量多边形。第4页/共61页 薄 膜 光 学——基础理论矢量法举例：3层膜N0=1 N1=1.38 N2=1.9 N3=1.65 N4=1.52各层的光学厚度：N1d1=λ/4 N2d2=λ/2 N3d3=λ/4λ 0=520nm,我们分别计算400nm 520nm 650nm处的反射率反射系数分别为：不同波长的夹角：第5页/共61页 薄 膜 光 学——基础理论矢量法R400nm=0.81%R520nm=0.09%R650nm=0.49%第6页/共61页 对称膜系的等效折射率对于单层膜我们可以用一个矩阵M单来表示，对于一个多层膜可以用一组矩阵的乘积来表示：M多=M1M2M3…Mn，一般来讲M多中的每一层都是无吸收介质时，矩阵M多中m11和m22为纯实数，m12和m21为纯虚数，并且，行列式值为1，但是一般情况下m11和m22并不相等，这一点与单层膜的性质是不同的，所以在数学上就不能等同于一个单层膜。薄 膜 光 学——基础理论第7页/共61页 薄 膜 光 学——基础理论单层薄膜特征矩阵第8页/共61页 薄 膜 光 学——基础理论第9页/共61页 薄 膜 光 学——基础理论 对于以中间一层为中心，两边对称安置的多层膜，却具有单层膜特征矩阵的所有特点，在数学上存在着一个等效层，这为等效折射率理论奠定了基础。 下面我们就以最简单的对称膜系(pqp)为例说明对称膜系在数学上存在一个等效折射率的概念。这个称膜系的特征矩阵为： 对称膜系的等效折射率第10页/共61页 第11页/共61页 第12页/共61页 薄 膜 光 学——基础理论 由于对称膜系的待征矩阵和单层膜的特征矩阵具有相同的性质，可以假定以相似的形式来表示： 对称膜系的等效折射率因此它可以用一层特殊的等效单层膜来描写， 这层等效膜的折射率E（等效折射率）和位相厚度Γ (等效位相厚度) 可以由下面方程求得：第13页/共61页 第14页/共61页 而在相邻的波长范围 |m11|=|m22|1,Γ 是实数E = (m21 /m12 ) 1/ 2也是实数这些波长区域对应的是通带。第15页/共61页 薄 膜 光 学——基础理论 对称膜系的等效折射率从M=pqp可以推广到任意多层的对称膜系在数学上都可以用一个单层膜的特征矩阵所表示。例如：M=h(u(v(pqp)v)u)h另：最常用的周期膜系如：M=HLHLHLHLHLH一方面表示为:M=H(L(H(L(H)L)H)L)H另一方面可以表示为：M=H/2（H/2LH/2)5H/2的形式H/2LH/2是一个对称单元第16页/共61页 薄 膜 光 学——基础理论 对称膜系的等效折射率对于M11的绝对值小于1的情况： 上式表示一个周期性对称膜系在它的透射带中仍然存在有一个等效折射率，它和基本周期对称组合等效折射率E完全相同，并且它的等效位相厚度等于基本周期的等效位相厚度s倍．第17页/共61页 第18页/共61页 第19页/共61页 第20页/共61页 薄 膜 光 学——基础理论L/2HL/2等效折射率H/2LH/2 对称膜系的等效折射率g—相对波数第21页/共61页 L/2HL/2第22页/共61页 H/2LH/2第23页/共61页 第24页/共