一种柔性基板的机械剥离装置.pdfVIP

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2023-02-06 发布于四川
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一种柔性基板的机械剥离装置.pdf

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本实用新型公开一种柔性基板的机械剥离装置，包括：底座，放置柔性基板；刀片机构，包括刀片，用于剥离柔性基板的柔性基材的起始剥离边，以在起始剥离边和柔性基板的刚性基板之间放置衬垫片；辊筒机构，包括设有真空孔的辊筒和固定件，固定件通过衬垫片将起始剥离边固定在辊筒上；真空发生装置，使辊筒将剥离的柔性基材真空吸附在辊筒上；驱动组件，驱动辊筒或底座运动，实现柔性基板剥离。通过本实用新型方案，柔性基板剥离过程中，能够实现自动化控制，可以有效解决柔性基板在采用机械方式手工剥离过程中，因无法控制剥离角度及剥离速度

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212380410 U (45)授权公告日 2021.01.19 (21)申请号 202020906389.7 (22)申请日 2020.05.26 (73)专利权人信利半导体有限公司