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- 2023-02-07 发布于四川
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本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种靶材离化冷却承载机构，其包括安装座、引弧机构、驱动机构、靶材夹头机构、冷却机构和至少一组真空管机构；所述真空管机构包括内管、外管、第一连接块、第二连接块和多个锁紧件；外管与内管之间设置有冷却液腔；外管设置有第一进水口和第一出水口；外管的外侧套设有电磁感应线圈。本申请的靶材离化冷却承载机构通过两种冷却方式分别对靶材夹头机构所夹紧的离化靶材和真空管机构进行冷却，大大地提高了靶材离化冷却承载机构的冷却效果，保护了靶材离化冷却承载机构内部的零部件，保证靶材离化
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212375367 U
(45)授权公告日 2021.01.19
(21)申请号 202021423084.7
(22)申请日 2020.07.17
(73)专利权人 广东鼎泰机器人科技有限公司
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