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一种用于搬运晶圆的机器人模组.pdfVIP

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  • 2023-02-07 发布于四川
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一种用于搬运晶圆的机器人模组.pdf

    本实用新型公开了一种用于搬运晶圆的机器人模组，包括相互连接的固定模组和机器人手臂，所述固定模组包括壳体、中空轴、无框力矩电机、谐波减速器和编码器，所述无框力矩电机包括转子和定子，所述编码器包括读数头和码盘；所述中空轴固定在所述壳体的中心，所述转子通过所述谐波减速器连接所述机器人手臂；所述读数头与定子固定连接，所述码盘固定在所述转子中。本实用新型提供的一种用于搬运晶圆的机器人模组，将无框力矩电机、谐波减速器和编码器集成在一起，提供了一种小型化轻量化的用于搬运晶圆的机器人模组，尤其适用于空间有限且重

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218433636 U (45)授权公告日 2023.02.03 (21)申请号 202222515436.7 (22)申请日 2022.09.22 (73)专利权人 上海广川科技有限

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