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本实用新型涉及载物台技术领域,公开了一种真空载物台,该真空载物台包括：基台；设置于基台的上表面的吸附装置，吸附装置包括真空阀和真空吸嘴；设置于基台的上表面、位于吸附装置至少一侧的刚性支撑装置。使用时先将产品放置于真空载物台上，用真空吸嘴吸附产品，再令产品与刚性支撑装置接触，以令刚性支撑装置起到支撑产品的作用。由于吸附装置对产品有吸附力，刚性支撑装置又会给产品一个与吸附力方向相反的支持力，能够保证产品受到的力互相平衡；且由于产品与刚性支撑装置之间为硬接触，当真空载物台高速移动时，有效减小了产品的抖
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212444940 U
(45)授权公告日 2021.02.02
(21)申请号 202021258454.6
(22)申请日 2020.06.30
(73)专利权人 京东方科技集团股份有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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