HENENCKE培训资料分享.pptVIP

Hennecke分选机培训资料分享 HENENCKE培训资料分享全文共14页，当前为第1页。 Hennecke分选机个模组介绍 1、geometry：尺寸/翘曲测试模组（包含两种翘曲类型：①Bow、②sori） 2、NVCD：隐裂、裂纹检测模组 3、Stain：脏污检测模组 4、Contour：崩边、缺角检测模组 5、Saw mark：线痕检测模组 6、E+H：TV、TTV、P/N、R（电阻率）检测模组 HENENCKE培训资料分享全文共14页，当前为第2页。 101 主控制服务器 Measuring serverPLC： 1、模组屏蔽功能： Measuring server界面中Extras→Options →Einstellungen →stations →选择需要关闭的模组，将Activate（激活按钮）关闭点击SET按钮即可。 2、模组状态查看： Measuring server界面中I/O Signals →Analog I/O →Show analog data（后面勾选上）chanel1、 chanel2、 chanel3分别对应E+H三个厚度探头状态，有硅片经过时，后面框内数值应接近与0。另外，此界面中Input框内00、……07前面的选择项应全部选择上，说明各个模组正参与工作。 3、E+H模组调试：正常状态下使用万用表直流档测试E+H模组控制柜上VASUE+GND