隔膜厚度在线检测跟随移动机构.pdfVIP

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2023-02-15 发布于四川
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隔膜厚度在线检测跟随移动机构.pdf

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本实用新型公开了一种隔膜厚度在线检测跟随移动机构，包括封闭的轨道，所述轨道包括直线段；所述轨道上设有负压吸引单元，且所述轨道上设有用于驱动所述负压吸引单元在所述直线段上以与隔膜相等的速率运动的跟随驱动机构；所述负压吸引单元包括负压吸引座，所述负压吸引座的顶面设为利用负压使隔膜贴合的负压吸引面，所述负压吸引座内设有负压吸引腔，所述负压吸引腔与所述负压吸引面之间阵列设有负压吸引孔；所述轨道上与所述负压吸引单元一一对应设有滑块，所述滑块的顶面设有竖直套孔，所述负压吸引座的底面设有与所述竖直套孔转动配合

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212567217 U (45)授权公告日 2021.02.19 (21)申请号 202021507152.8 (22)申请日 2020.07.27 (73)专利权人重庆云天化纽米科技股份有限公