带有冷却装置的真空镀膜设备.pdfVIP

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2023-03-08 发布于四川
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带有冷却装置的真空镀膜设备.pdf

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本实用新型公开了一种带有冷却装置的真空镀膜设备，包括真空腔体，所述真空腔体内设置有冷却装置，所述冷却装置包括安装架、风冷装置和循环装置，所述风冷装置和循环装置通过安装架连接，所述风冷装置的出风方向朝向循环冷装置的所在方向，对真空腔体内部进行有效的降温，防止镀膜工艺中的加热过程导致真空腔体内部温度过高，防止真空腔体内部的机械结构发生形变，从而延长真空镀膜设备的使用寿命；同时该冷却装置的多个部件均为可拆卸式连接，方便了用户的安装、拆卸和维修操作，也便于对单个部件进行更换，能有效延长冷却装置的使用寿命

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213327802 U (45)授权公告日 2021.06.01 (21)申请号 202021662801.1 (22)申请日 2020.08.11 (73)专利权人苏州众智泽智能科技有限公司