实验一面形的三维干涉测量及评价.docxVIP

实验一：面形的三维干涉测量及评价（PV 值与 RMS 值） 一、实验目的： 了解表面三维形貌的高精度实时测量原理 实测一个平面光学零件的表面形貌 对评价指标PV，RMS 的定义有所掌握 二、实验原理： 本实验采用数字干涉测量原理进行，本实验与实验二的不同是测量中采用了扫描技术， 因而可以实现面形的三维测量。高精度光学平面零件的面形精度可用下列二个评价指标，如 下图所示。 PV 值??是表面形貌的最大峰谷值 RMS 值??是表面形貌的均方根值，RMS 的定义是： ?v 2N ? ? v 2 N ? 1 表面形貌 PV RMS 面形精度的评价 式中v ? xi ? x T ，xi??单次测值， T ? N i ，N??重复测定次数。 三、实验光路 1 1 2 3 5 6 9 8 7 10 送 计 算机 24 23 22 20 14 16 PZT 18 1－激光器 3,5－定向孔 6,7,9,16－反射镜 8－物镜 10－准直透镜 14－分光棱镜 18 －带压电陶瓷的组合工作台 20－成像透镜 22－可调光阑 23－光电接收器 24－导轨 四、实验步骤： 扩束 将工作台 16，18 上的平面反射镜换成曲面或台阶面（其干涉条纹的形状与反射面面形有对应定量关系） 调整CCD23 在轨道上的位置，使干涉条纹清晰，锁定23 调节可调光阑 22 孔径位置，滤除寄生干涉光 测量程序操作见软件操作