干涉式光纤探针传感器对压强、温度和振动的传感特性研究.pdf

目录 目录 摘要 I ABSTRACT III 目录V 第一章 绪论 1 1.1 光纤传感器的介绍 1 1.2 光纤传感器的分类 1 1.2.1 马赫－曾德光纤干涉仪2 1.2.2 迈克尔逊干涉仪3 1.2.3 萨格纳克干涉仪3 1.2.4 法布里－珀罗干涉仪 4 1.2.5 光纤光栅5 1.3 光纤探针传感器的研究现状 5 1.4 论文主要研究内容 9 第二章 光纤探针干涉原理 10 2.1 光纤探针传感器基础理论 10 2.1.1 波动方程 10 2.1.2 光的干涉理论 12 2.2 光纤迈克尔逊干涉传感器原理 13 2.3 光纤法布里－珀罗干涉传感器原理 15 第三章 光纤探针压强传感器的传感特性研究 19 3.1 光子晶体光纤结构 19 3.2 光纤探针压强传感器的制作 20 3.3 光纤探针压强传感器的模式仿真与传感原理 23 3.3.1 模式仿真 23 3.3.2 光纤探针压强传感器的传感原理 27 3.4 光纤探针压强传感器的压力特性研究 29 3.5 本章总结 32 第四章 光纤探针高温传感器的传感特性研究34 4.1 光纤熔纤机微加工原理及特点 34 4.2 光纤探针高温传感器的制作 35 4.3 光纤探针高温传感器的传感原理 39 4.4 光纤探针高温传感器的温度特性研究 41 4.4.1 端面无镀膜的传感器特性研究 41 V 目录 4.4.2 端面镀金膜的传感器特性研究 46 4.5 本章总结 49 第五章 基于 FABRY－PEROT 干涉的光纤探针传感器的振动测量51 5.1 光纤探针振动传感器的制作 51 5.2 光纤探针振动传感器的传感原理 53 5.3 光纤探针振动传感器的振动特性研究 57 5.4 本章总结 64 第六章 总结与展望65 6.1 总结 65 6.2 展望 65 参考文献67 攻读硕士期间获得的成果71 致谢 论文独创性声明 论文使用授权声明 VI 干涉式光纤探针传感器对压强、温度和振动的传感特性研究 第一章 绪论 1.1 光纤传感器的介绍 随着高锟等人在 1966 年首次提出了通信用的超低损耗的光纤，并分析证明了光纤 [1] 可作为光通信的传播介质 ，到 1970 年美国康宁公司使用改进型化学气相沉积法制作 [2] 出传输损耗只有 20 dB/km 的低损耗石英光导纤维 。光通信以及光纤传感一跃成为科 学研究的热点。光纤作为良好的圆柱形光波导，应用全内反射原理来实现传导光线的目 的。另外，光纤本身的材料特性让其天生就具有了抗电磁干扰、抗腐蚀性、轻量化、成 本低等优点。因此，使用光纤制作的传感器完美的继承了这些优点，也渐渐的走进了人 们的视野。光纤传感是将被测量的参数转化为可测量的光学参数，即用光纤作为传感器 将光信号从信号源传输到检测区，光纤中光信号的强度、相位、波长、偏振状态等，随 检测区的被检测参数如温度、压力、应变、折射率、湿度、浓度等的变化而变化。通过 监测光纤中光信号的变化，可以解调被测参数的变化。 随着我国综合国力的上升，越来越多的工业场景对生产、安全、成本等要求也逐渐 [3] [4] 提高。例如矿坑开采 以及油井勘探 等场景是极易发生火灾与爆炸的工业场景，因此 要极力避免此类事件的发生。但是传统的电信号传感器因为线路老化等原因十分容易引 发燃烧爆炸等危险，而光纤传感器则避免了这个缺点。对于长距离的实时监测，例如桥 [5] [6] 梁 、高铁轨道 的健康监测，使用传统的点式传感器需要进行大量的铺设，增加了成本 以及故障率。如果在架设桥梁或隧道的同时铺设分布式光纤传感系统，可以大大降低健