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电子束与固体样品相互作用 第1页，共13页。 第2页，共13页。 背散射电子 定义：被固体样品中的原子反弹回来的一部分入射电子。 分类：弹性和非弹性 应用：来自于样品表层几百纳米范围。它的产额随原子序数增大而增多。所以不仅能做形貌分析，而且可以用来显示原子序数衬度，定性地用作成分分析。 第3页，共13页。 背散射电子 第4页，共13页。 背散射电子 第5页，共13页。 二次电子 定义：入射电子作用下被轰击出来并离开样品表面的核外电子。 性质：能量低，一般不超过50eV。 范围：一般都是在距表层5~10nm深度范围内被激发出来。 应用：对样品表面状态十分敏感，能非常有效地显示样品的表面形貌。不能用来进行成分分析。 第6页，共13页。 产额比较 第7页，共13页。 吸收电子 定义：入射电子进入样品后，多次非弹性碰撞，能量损失殆尽，被样品吸收。 电流强度：Ia=I0—(I b +Is) 应用：吸收电子能够产生原子序数衬度，可进行定性地微区成分分析。 原子序数衬度：SEM或TEM中由于试样表面物质序数（或化学成分）差别而形成的衬度。 第8页，共13页。 透射电子 一部分入射电子穿过薄样品而成为透射电子 投射电子的信号由微区的厚度，成分，晶体机构决定 应用：特征能量损失电子是和分析区域的成分有关，可以利用特征能量损失电子配合电子能量分析器来进行微区成分分析。 第9页，共13页。 特征X射