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一种硅片生产用硅石清理机构.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于四川
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一种硅片生产用硅石清理机构.pdf

    本实用新型涉及硅片生产相关技术领域，且公开了一种硅片生产用硅石清理机构，包括外壳、岩棉板、进料口、卡槽和固定板，所述外壳的一侧设置有环氧树脂，且环氧树脂的一侧设置有第一魔术贴，所述岩棉板设置在外壳的一侧，且岩棉板的一侧设置有第二魔术贴，所述第二魔术贴的一侧设置有检修口，且检修口的一侧设置有旋转螺栓，所述进料口设置在外壳的一侧，且进料口的一侧设置有防堵口，同时防堵口的一侧设置有固定螺栓，所述卡槽的一侧设置有卡块。该硅片生产用硅石清理机构，通过设置减震弹簧可以对该装置起到有效的减震功能，在使用过程中

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213559026 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202022302621.9 (22)申请日 2020.10.15 (73)专利权人 天津西美半导体材料有限公司

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