毫米波频段材料介电性能测试 开放式共聚焦谐振腔法.pdfVIP

毫米波频段材料介电性能测试 开放式共聚焦谐振腔法 1 范围 本文件规定了采用开放式共聚焦谐振腔法在20 GHz～110 GHz 范围内对固体电介质、复合板材、 工程塑料等材料的相对介电常数实部和介电损耗角正切的测量方法。其中，相对介电常数实部的测量范 围在2～30，介电损耗角正切的测量范围为0.0001～0.05 。 本文件适用于氧化硅、氧化铝、氮化铝、氧化锆、氮化硼、碳化硅、钛酸钡等无机材料，印制电路 板等有机无机复合板材，聚四氟乙烯、聚苯乙烯等有机工程塑料的相对介电常数实部和介电损耗角正切 的测量，也适于其他类似固体电介质、复合板材、工程塑料材料及其液晶聚合物、改性聚酰亚胺等薄膜 样品的相对介电常数实部和损耗角正切的测量。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T 31838.1 固体绝缘材料 介电和电阻特性 第1 部分：总则 GB/T 31838.6 固体绝缘材料 介电和电阻特性 第6 部分：介电特性(AC 方法)相对介电常数和介质 损耗因数(频率0.1 Hz～10 MHz) JIS R 1660-2 毫米波段精细陶瓷介电性能的测量方法-第2 部分：开放式谐振腔法 （JIS R1660- Measurement method for dielectric properties of fine ceramics in millimeter wave frequency ran ge -- Part 2 ：Open resonator method ） 3 术语和定义 GB/T 31838.1、GB/T 31838.6 和JIS R 1660-2 中界定的术语和定义适用于本文件。 3.1 介电性能 dielectric properties 在给定频率范围内用交流电压测量出的材料综合特性。 [来源：GB/T 31838.1-2015 ，3.3，有修改] 3.2 绝对介电常数 absolute permittivity 电通密度除以电场强度的商。 [来源：GB/T 31838.6-2021 ，3.3] 3.3 相对介电常数 relative permittivity 绝对介电常数与真空介电常数的比值。 [来源：GB/T 31838.6-2021 ，3.4] 1 3.4 相对复介电常数 relative complex permittivity 稳定的正弦场下, 以复数表示的介电常数。 [来源：GB/T 31838.6-2021 ，3.5] 3.5 介质损耗因数 dielectric dissipation factor 损耗角正切值 loss tangent tan δ 复介电常数的虚部与实部的比值。 [来源：GB/T 31838.6-2021 ，3.6] 3.6 束腰半径 waist radius 开放式谐振腔中的电磁场强度分布是高斯分布，并且光束在两个球体的中心处变窄，当电场强度衰 减到中心值的1/e 的直径称为束腰直径。 [来源：JIS R 1660-2:2004 ，9 B] 4 测量原理 4.1 开放式共聚焦谐振腔法介电性能测试系统示意图 开放式共聚焦谐振腔法介电性能测试系统如图1 所示。 图1 开放式共聚焦谐振腔法介电性能测试系统示意图 2 将曲率半径为R ，球面镜横截面圆的半径为a 的两个凹球面镜进行固定，两个凹球面镜底部连接 0 可移动的机械传输装置，按照不同频段两凹球面镜移动到对应位置后固定（此时两镜之间的腔长值为D ）， 同时保持两镜面的曲率中心连线与两镜面的口径中心点连线重合，构成开放式共聚焦谐振腔。 两个凹球面镜的中心处设样品支架，支架底部连接机械传输装置触点，样品平面与凹球面镜之间距 离Dq 可调；开放式共聚焦谐振腔的波导孔开在两个凹球面镜上，一侧为输入波导，一侧为输出波导， 其结构如图1 所示。 4.2 测量原理 开放式共聚焦谐振腔法介