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用于抑制正交误差的设备.pdfVIP

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  • 2023-03-14 发布于四川
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用于抑制正交误差的设备.pdf

    本公开涉及用于抑制正交误差的设备。该设备包括MEMS陀螺仪。该MEMS陀螺仪由衬底、第一质量块和第二质量块形成，其中第一质量块和第二质量块悬置于衬底上方，并且在静止状态下在限定第一方向和横向于第一方向的第二方向的延伸平面中延伸。该MEMS陀螺仪还具有：驱动结构，被耦合至第一质量块，并且被配置为在使用中使第一质量块在第一方向上移动；以及弹性耦合结构，在第一质量块与第二质量块之间延伸，并且被配置为将第一质量块在第一方向上的移动与第二质量块在第二方向上的移动耦合。弹性耦合结构具有第一部分和第二部分，第

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218600576 U (45)授权公告日 2023.03.10 (21)申请号 202221983503.1 G01C 19/5663 (2012.01) (22)申请日 2022.0

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