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本实用新型公开了一种用于三坐标测量机的气浮轴承碟簧机构,包括花岗岩导轨和移动部件,所述花岗岩导轨上表面设置有气浮轴承机构,气浮轴承机构一侧设置有进气口,定位座上端设置有连接钢球。本用于三坐标测量机的气浮轴承碟簧机构,通过安装在气浮轴承机构内的碟形弹簧,通过其不同的叠法和不同的叠装数量,使其与气浮块的刚度和整体移动部件的质量相匹配,以达到在测量机产生运动前,使整体移动部件的质量和气浮轴承机构产生的力相适应,使三坐标测量机能够平稳的启动和运行,有效的提高三坐标测量机的运动过程中的平稳性,并保护了三坐
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213575176 U
(45)授权公告日 2021.06.29
(21)申请号 202022682942.6
(22)申请日 2020.11.18
(73)专利权人 西
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