一种新型靶材保护系统.pdfVIP

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2023-03-20 发布于北京
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一种新型靶材保护系统.pdf

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本实用新型涉及一种新型靶材保护系统，其特征在于：包括挡片（16）和挡片开闭机构（1），两者位于第一腔室（2）中，所述挡片（16）位于靶材（13）与基片（21）之间，所述挡片（16）通过所述挡片开闭机构（1）实现开启或关闭。本实用新型通过传动机构推动挡片开合阻止大颗粒物质对靶材的影响以达到靶材保护的目的。并且操作方便，保护效果好，应用范围广等特点。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213739650 U (45)授权公告日 2021.07.20 (21)申请号 202022375498.3 (22)申请日 2020.10.23 (73)专利权人深圳市绿谷离子镀膜科技有限公