用于将蚀刻剂喷射到部件承载件上的蚀刻装置.pdfVIP

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2023-03-27 发布于四川
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用于将蚀刻剂喷射到部件承载件上的蚀刻装置.pdf

本实用新型提供了一种用于将蚀刻剂(101)喷射到部件承载件(140)上的蚀刻装置(100)，其包括具有多个喷嘴(111)的喷杆(110)，其中喷嘴(111)配置成用于将蚀刻剂(101)喷射到部件承载件(140)上。喷杆(110)包括环形管(112)，该环形管(112)联接至喷嘴(111)以在环形管(112)内部提供蚀刻剂(101)的循环，并且其中喷杆(110)包括蚀刻剂入口(113)，使得蚀刻剂(101)能够注射到环形管(112)中。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213960430 U (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202023279829.X (22)申请日 2020.12.30 (73)专利权人奥特斯科技（重庆）有限公司

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