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- 2023-03-28 发布于北京
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本实用新型公开了一种用于太阳能光伏晶片制造工艺的高辐射光源，包括有LED光源组件、LED驱动模块和冷却模块，冷却模块为液冷模块，在其主体内部设置有冷却液腔体，其一边设有进液接头，另一边设出液接头，以形成冷却液循环结构；LED光源组件紧贴固定在冷却模块的底面，LED驱动模块紧贴安装在冷却模块的上表面。本实用新型可将高能量LED灯珠密集排列，并通过透镜将发散光收集于一个方向，形成一个高功率大面积光源，可提高对于硅晶片的表面处理效果。同时采用液冷冷却模块设计，以流动的冷却液来增强散热功能，如此可以提高
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213958981 U
(45)授权公告日 2021.08.13
(21)申请号 202120300812.3
(22)申请日 2021.02.02
(73)专利权人 广东科视光学技术股份有限公司
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