CVD陶瓷涂层热膨胀系数和残余应力的测试方法.pdfVIP

CVD 陶瓷涂层热膨胀系数和残余应力的测试方法 重要提示：使用本文件的人员应有正规实验室工作的实践经验。本文件并未指出所有可能的安全问 题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。 1 范围 本文件规定了室温下CVD 陶瓷涂层（厚度0.03 mm ）热膨胀系数和残余应力测试的原理，并规定 了试验所需的仪器和设备、试样要求、试验步骤、数据的计算及试验报告的编写规则等。 本文件适用于在金属或陶瓷基底的CVD 陶瓷涂层。本试验方法可用于材料性能研究、质量控制、 特征描述以及数据采集等方向。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB/T 1216 外径千分尺 GB/T 16535 精细陶瓷线热膨胀系数试验方法 顶杆法 GB/T 16839.1 热电偶第1 部分：电动势规范和允差 GB/T 39686 陶瓷厚涂层的弹性模量与强度试验方法 GB/T 39828 陶瓷厚涂层的高温弹性模量试验方法 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 相对法 relative method 一种间接的测试方法，通过建立难测参数与多个易测参数之间的定量关系式计算获得难测参数。 4 原理 陶瓷涂层的性能难以测量，然而CVD 陶瓷涂层复合体（含涂层）和基体（无涂层）试样容易测量， 基于均匀应变模型、几何相容性分析和内应力平衡，利用相对法技术推导出CVD 陶瓷涂层的热膨胀系 数和残余应力计算公式。 以某一设定的速率加热或冷却时，连续监测试样环境温度和长度变化值。根据GB/T 16535 分别测 量复合体和基体的热膨胀系数，计算获得CVD 陶瓷涂层的热膨胀系数。获得CVD 陶瓷涂层的热膨胀 系数后，通过涂层与基体的热膨胀系数比，弹性模量比，截面面积比以及涂层制备时的温度计算获得 CVD 陶瓷涂层的残余应力。 2 5 仪器和设备 5.1 概述 一组试样包括基体和复合体两根样品。根据GB/T 16535 使用标准的热膨胀设备在相同的环境下分 别测量基体和复合体的热膨胀系数和残余应力。试验装置应使试样在轴向方向能自由运动。对于水平测 量装置，应使得测试件的横向移动或扭转同时不受任何的轴向移动限制。也可采用附录 A 给出的双座 式 CVD 陶瓷涂层热膨胀系数和残余应力测试仪，可同时放置基体和复合体两根试样（一组试样），通 过一次试验获得涂层的热膨胀系数和残余应力。 5.2 加热装置 符合GB/T 16535 规定的加热炉。 5.3 温度测量装置 符合GB/T 16839.1 规定的热电偶。温度超过2000 K 时，宜采用红外测温仪。 5.4 数据记录系统 系统测量位移精度不低于0. 1 µm，应能同时记录试样的温度和位移。记录系统的精度应在1%内； 采集数据频率不低于15Hz ，响应频率不低于50 Hz 。 5.5 量具 符合GB/T 1216 中所规定的游标卡尺，分辨率为0.02 mm 。也可以采用分辨率不低于0.02 mm 的其 它测量仪器。 6 试样 6.1 试样 三种不同对称结构的矩形截面涂层试样，任意一种均可用来评价陶瓷涂层性能。I 型试样，上下两 个表面镀涂层；II 型试样，四个表面镀涂层；III 型试样，柱状试样表面周边镀涂层。 a) I型试样 3 b) II型试样 c) Ⅲ型试样 图1 三种不同类型试样的示意图 6.2 试样尺寸 表1 给出了推荐的试样尺寸。对于I 和II 型试样，推荐尺寸应为长30 mm~50 mm ，宽5 mm ，高5 mm 。 涂层的厚度h 应大于0.03 mm ，厚度比h/H 应小于1/4。平行相对面上的平行度公差为0.015 mm 。对于 Ⅲ型试样，推荐尺寸应为长30 mm~50 mm ，