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- 2023-04-04 发布于四川
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本实用新型公开了一种掩膜版后处理用夹具，包括承托板，所述承托板上开设有与掩膜版相适应的清洗槽，所述清洗槽内所有顶角位置均设置有内凹的掩膜版顶角避让圆弧；所述清洗槽的边沿连接有朝向清洗槽中心的掩膜版承托条；还包括一固定基板，所述固定基板上均布设置有若干固定槽，所述固定槽内可拆卸固定有所述承托板；本实用新型的目的在于提供一种掩膜版后处理用夹具，改变现有技术中，显影、蚀刻、清洗机不能对6寸和20*24等小尺寸的掩膜版进行清洗的问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214098107 U
(45)授权公告日 2021.08.31
(21)申请号 202120333400.X
(22)申请日 2021.02.05
(73)专利权人 合肥清溢光电有限公司
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