硅外延用三氯氢硅.docxVIP

GB/T 30652—XXXX PAGE 5 硅外延用三氯氢硅 范围 本文件规定了硅外延用三氯氢硅（SiHCl3）的技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、 随行文件及订货单的内容。 本文件适用于以三氯氢硅为原料精制提纯而制得的硅外延用三氯氢硅（以下简称产品）。 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB 191 包装储运图示标志 GB/T 1551 硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法 GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则 GB 12463 危险货物运输包装通用技术条件 GB/T 14264 半导体材料术语 GB 15258 化学品安全标签编写规定 GB 16483 化学品安全技术说明书 内容和项目顺序 GB 18564 汽车运输液体危险货物常压容器(罐体)通用技术条件 GB/T 24581 硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法 GB/T 26571 特种气体储存 期规范 GB/T 28654 工业三氯氢硅 GB/T 29056 硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法 GB/T 29057 用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程 GB 30000.19 化学品分类和和标签规范 第19部分：皮肤腐蚀/刺激 YS/T 987 氯硅烷中碳含量的测定 气相色谱质谱联用法 YS/T 1059 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法 YS/T 1060 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法 术语和定义 GB/T 14264界定的术语和定义适用于本文件。 技术要求 技术要求 产品的技术指标应符合表1的规定。 表1 技术指标 项目 技术指标要求 化学成分 SiHCl3含量，% ≥99.99 其他氯硅烷，% ≤0.01 Al，ng/g ≤0.1 Cr，ng/g ≤0.1 Cu，ng/g ≤0.1 Fe，ng/g ≤0.5 Ni，ng/g ≤0.1 Zn，ng/g ≤0.1 Ca，ng/g ≤0.5 Co，ng/g ≤0.05 Mn，ng/g ≤0.1 V，ng/g ≤0.1 Mo，ng/g ≤0.1 C，μg/g ≤0.1 施主杂质含量（P+As+Sb），10-9（ppba）） ≤0.2 受主杂质含量（B+Al），10-9（ppba） ≤0.1 本征电阻率，Ω.cm ≥1000 注1：施主杂质含量、受主杂质含量和电阻率的测定采用产品转化为单晶的方法评价。 注2：施主、受主杂质含量10-9（ppba）等同5×1013atoms/cm3；ng/g等同ppbw。 外观质量 产品应为无色透明液体。 其他 需方如对产品有其他要求时，由供需双方商定。 试验方法 产品的SiHCl3含量及其他氯硅烷含量的测定按GB/T 28654和YS/T 1060规定进行。 产品的Al、Cr、Cu、Fe、Ni、Zn、Ca、Co、Mo、Mn、V含量的测定按GB/T 29056规定进行。 产品的C含量的测定按YS/T 987或YS/T 1059规定进行。 施主杂质含量和受主杂质含量的测定，制样后按GB/T 24581规定或按供需双方商定的其他方法进行。 电阻率的测定，制样后按GB/T 1551规定或按供需双方商定的其他方法进行。 产品的外观质量在自然光下，用目视法检查。 检验规则 检査和验收 产品应由供方技术监督部门或第三方进行检验，保证产品质量符合本文件及合同（或订货单）的规定，并填写质量证明书。 需方可对收到的产品按本文件的规定或双方认同的方法进行检验，如检验结果与本文件及合同（或订货单）的规定不符时，应以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决，如需仲裁，仲裁取样和检测由供需双方共同委托仲裁机构进行。 组批 同一生产线连续稳定生产的产品为一批，也可按产品贮罐组批。 检验项目 每批产品应对技术指标、外观质量进行检验。 取样和制样 取样安全应符合GB/T 3723的规定，应注意取样环境避免样品沾污。 化学成分和外观质量的抽样规则由供需双方协商确定。 施主杂质含量、受主杂质含量和电阻率的评价方式参照附录A或供需双发协商确定的方法进行，每组批检验一次。 检验结果的判定 技术指标的检验结果若有一项不合格，允许在同批产品中加倍取样进行复检。复检结果如仍有一项不合格，则判该批产品不合格。 外观质量的检验结果不合格时，判该包装单位产品不合格。 标志、包装、运输、贮存及随行文件 标志 产品包装容器外应张贴标签