集成光学功能元件以及光学集成电路.pdfVIP

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  • 2023-04-04 发布于四川
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集成光学功能元件以及光学集成电路.pdf

本实用新型涉及一种集成的光学功能元件以及光学集成电路,其中,该集成光学功能元件包括衬底(2),其上设置有具有第一折射率(n1)的聚合物层(3),其中至少一个具有第二折射率(n2)的聚合物光波导(4)被嵌入到所述聚合物层(3)中,使得聚合物光波导(4)与衬底(2)直接或间接接触,第二折射率(n2)大于第一折射率(n1),并且衬底的材料在‑10℃至40℃的温度范围内具有小于0.05x10E‑6/K的热膨胀系数。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214122518 U (45)授权公告日 2021.09.03 (21)申请号 201990000646.6 (74)专利代理机构 上海和跃知识产权代理事务

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