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- 2023-04-14 发布于四川
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本实用新型涉及用于光谱分析和成像的太赫兹传感器模块。公开了用于动态环境中的光谱分析和成像的太赫兹(THz)传感器模块的实施方案。在一个实施方案中,太赫兹(THz)传感器模块包括:THz发射器,该THz发射器被配置为将THz波束发射到环境中;一个或多个可移动微机电系统(MEMS)微镜;以及耦接到该一个或多个MEMS微镜的一个或多个MEMS马达或致动器。该一个或多个MEMS马达或致动器被配置为移动一个或多个MEMS微镜以改变THz波束在环境中的方向。THz接收器被配置为从环境中的反射物体收THz波束
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215678085 U
(45)授权公告日 2022.01.28
(21)申请号 202021628104.4
(22)申请日 2020.08.07
(30)优先权数据
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