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一种匀胶机用高精度定位锁紧旋转结构.pdfVIP

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  • 2023-04-15 发布于四川
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一种匀胶机用高精度定位锁紧旋转结构.pdf

    本实用新型公开了一种匀胶机用高精度定位锁紧旋转结构，涉及半导体光伏行业中匀胶机技术领域，包括旋转台、匀胶机旋转机构、锁紧机构、密封机构、胶液收集盘、定位机构和基片吸附盘，所述旋转台与匀胶机旋转机构通过锁紧机构固定连接，所述密封机构、胶液收集盘、定位机构、基片吸附盘均设置在旋转台上，本实用新型减小生产过程中因基片晃动而产生液膜不均匀，有效的提高了光刻胶涂覆的均匀度和平整度，有利于提高产品的质量。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215695450 U (45)授权公告日 2022.02.01 (21)申请号 202121855733.5 (22)申请日 2021.08.10 (73)专利权人 江阴市纪泽万家科技有限公司

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