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本发明提供了一种热电堆温度梯度气体流速传感器,本发明通过加热源,以及以加热源为中心的四面分布的热电堆温度梯度检测器件,实现温度梯度检测。薄膜型热电堆自身热容很小,反应速度快;热电堆的输出信号只与温差以及热电材料有关,而与宽度、厚度关系不大,因此制造重复性好,一致性好,为批量生产创造了条件;级联热电堆信号得到加强,在几个uW热源作用下,就可以产生较强的信号;制造工艺与CMOS工艺兼容,可以批量化生产;另外还具有成本低廉、寿命长的特点,本发明涉及的流速传感器没有机械疲劳,老化速度慢,因此能够保持长期
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113960325 A
(43)申请公布日 2022.01.21
(21)申请号 202111213758.X
(22)申请日 2021.10.19
(71)申请人 山东齐芯智控科技有限公司
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