生产入射辐射固态数字检测器的方法.pdfVIP

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  • 2023-04-25 发布于四川
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生产入射辐射固态数字检测器的方法.pdf

本发明涉及一种生产包括光敏传感器和辐射转换体(13)的入射辐射固态数字检测器的方法,其特征在于,所述方法包括:a.在第一衬底(12)上生长闪烁物质(14)的步骤(100),所述闪烁物质从第一衬底(12)延伸并且适于将入射辐射转换为传感器(11)能感测的第二辐射,闪烁物质(14)包括沿入射辐射的传播方向在上游的、被入射辐射穿过的端面(15),以及沿入射辐射的传播方向在下游的与上游端面(15)相反的端面(16);b.在闪烁物质(14)的下游端面(16)处保持闪烁体(13)的步骤(101);c.将第一

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114072702 A (43)申请公布日 2022.02.18 (21)申请号 202080049156.2 (74)专利代理机构 北京三友知识产权代理有限

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