原创力文档- 2
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- 2023-04-25 发布于四川
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公开了一种掩模干燥装置。所述掩模干燥装置包括：腔室；等离子体产生部件，连接于腔室的一侧壁；第一干燥部件，布置在垂直于一侧壁的腔室的下部壁；掩模固定部件，固定掩模；以及旋转部件，连接于掩模固定部件，其中，掩模固定部件能够借由旋转部件而在等离子体产生部件与第一干燥部件之间旋转。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114068277 A
(43)申请公布日 2022.02.18
(21)申请号 202110634856.4
(22)申请日 2021.06.08
(30)优先权数据
10-2020-0
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