运动台回零方法、装置、电子设备和存储介质.pdfVIP

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2023-05-05 发布于四川
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运动台回零方法、装置、电子设备和存储介质.pdf

本发明公开一种运动台回零方法、装置、电子设备和存储介质。控制编码器下闭环，控制运动台沿第一方向运动；当检测到双导轨中任一导轨上的电气限位信号时，停止运动台的运动，并控制运动台沿第二方向运动；当检测到任一导轨上零位传感器信号时，获取此时该导轨上编码器第一原始数值；当检测到另一导轨的零位传感器信号时，获取此时该另一导轨上编码器第二原始数值；根据编码器第一原始数值和编码器第二原始数值，获得运动台的偏置参数；控制运动台开环，根据偏置参数设置双导轨的编码器偏置参数；重新闭环运动台，获得闭环时运动台的初始位

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114296393 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111640584.5 (22)申请日 2021.12.29 (71)申请人北京半导体专用设备研究所（中国

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