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一种油膜厚度测量亚微米级位移标定装置和方法.pdfVIP

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  • 2023-05-05 发布于四川
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一种油膜厚度测量亚微米级位移标定装置和方法.pdf

    本发明涉及一种油膜厚度测量亚微米级位移标定装置和方法，装置包括底座、下平台、上平台、支撑立柱、上端盖、滚珠丝杆传动装置、光栅测量装置、超声波测量装置和伺服电机，下平台安装在底座上，上平台位于下平台上方，支撑立柱的上端连接上端盖，下端贯通上平台和下平台后连接底座；滚珠丝杆传动装置的上端连接上端盖，下端贯通上平台和下平台后连接底座，滚珠丝杆传动装置的丝杠螺母连接上平台，伺服电机驱动连接滚珠丝杆传动装置；下平台上设有油槽，光栅测量装置和超声波测量装置均安装在上平台上。与现有技术相比，本发明通过精度更高

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114295068 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202111641858.2 (22)申请日 2021.12.29 (71)申请人 上海交通大学 地址

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