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- 2023-05-09 发布于四川
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本发明适用于芯片加工技术领域，提供了一种芯片加工用除尘设备，包括一级升降组件，所述一级升降组件通过二级升降组件连接有抓取组件，还包括：安装部，所述安装部包括安装罩；除尘组件，所述除尘组件包括球形安装座，所述球形安装座的两侧均设置有导气管，所述安装罩中开设有导气通道，所述球形安装座的底部设置有与导气管连通的除尘喷头，所述球形安装座上滑动安装有弧形齿条；以及调节组件，所述调节组件包括调节板，所述调节板通过连杆组件与连接板相互连接，所述调节板上设置有与弧形齿条匹配的第一齿条和第二齿条，所述调节板的底部
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116060380 A
(43)申请公布日 2023.05.05
(21)申请号 202310206265.6
(22)申请日 2023.03.07
(71)申请人 广东中科启航技术有限公司
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