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晶圆加工体、晶圆加工用临时粘合材料及薄型晶圆的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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晶圆加工体、晶圆加工用临时粘合材料及薄型晶圆的制造方法.pdf

    本发明为一种晶圆加工用临时粘合材料，其用于将表面具有电路面且应对背面进行加工的晶圆临时粘合在支撑体上，其特征在于，具备具有第一临时粘合层和第二临时粘合层的至少2层结构的复合临时粘合材料层，第一临时粘合层能够以可剥离的方式粘合在所述晶圆的表面且由热塑性树脂层(A)构成，第二临时粘合层层叠于该第一临时粘合层上且由光固化硅氧烷聚合物层(B)构成。由此提供一种改善加热接合时的晶圆翘曲，具有良好的剥离性与清洗除去性，能够在段差大的基板上以均匀的膜厚形成，对TSV形成工序等的工序适应性高，并且对热工艺的耐受

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114521211 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202080067798.5 (74)专利代理机构 北京路浩知识产权代理有限

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