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一种射频功率控制方法及等离子体处理装置.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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一种射频功率控制方法及等离子体处理装置.pdf

    本发明提供一种射频功率控制方法，等离子体反应装置包含若干个电感耦合线圈，射频功率源的射频功率通过匹配网络分配到电感耦合线圈的第一至第M线圈上，使得等离子体反应装置的真空反应腔内产生等离子体，所述控制方法包含：同步射频功率源的输出时钟信号；探测第i线圈的第i电流信号，转换所述第i电流信号为对应的第i脉冲直流信号；根据所述输出时钟信号对第i脉冲直流信号进行处理后计算对应的第i电流反馈值；根据所述第i电流反馈值调整分配到第i线圈上的射频功率；其中i∈[1,M]。本发明还提供一种等离子体处理装置。本发明

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114520677 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202011298578.1 (22)申请日 2020.11.18 (71)申请人 中微半导体设备（上海）股份有限公

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