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包含氢氟醚的溶剂以及使用包含氢氟醚的溶剂的基板处理方法.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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包含氢氟醚的溶剂以及使用包含氢氟醚的溶剂的基板处理方法.pdf

    本发明提供一种溶剂，其含有以下式(1)所表示的氢氟醚。Rf1与Rf2各自独立地为氟原子、碳原子数为1以上4以下的直链全氟烷基、或者碳原子数为3或4的支链全氟烷基。R3为碳原子数为1以上4以下的直链烷基、碳原子数为3或4的支链烷基、碳原子数为1以上4以下的直链氟烷基、或者碳原子数为3或4的支链氟烷基。Rf1与Rf2中的至少一个为碳原子数为1以上4以下的直链全氟烷基或者碳原子数为3或4的支链全氟烷基；

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114521285 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202080067455.9 (74)专利代理机构 北京路浩知识产权代理有限

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