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一种气体压强传感器及其制备方法和气体压强检测方法.pdfVIP

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  • 2023-05-13 发布于四川
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一种气体压强传感器及其制备方法和气体压强检测方法.pdf

    本发明公开了一种气体压强传感器及其制备方法和气体压强检测方法；该气体压强传感器包括衬底、绝缘层、二维材料层以及两个电极，绝缘层叠设于衬底上，绝缘层上制作有沟槽，两个电极设置于绝缘层背离衬底的一侧且分别位于沟槽的两侧，二维材料层悬空于沟槽上方且两端分别与两个电极相连，二维材料层通过两个电极配置有第一偏置电压，衬底与任一个电极之间配置有第二偏置电压。当器件暴露于气体环境中，悬空的二维材料上下表面吸附气体分子，进而影响其电导率；通过配置两个偏置电压可得出不同气压下器件的电导率，进而反映出环境气压。本发

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114646419 A (43)申请公布日 2022.06.21 (21)申请号 202210289722.8 (22)申请日 2022.03.23 (71)申请人 中山大学 地址 510275 广

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