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3.表征真空系统的几个参数 (1)体积流速S（体积流率） 单位时间流过管道某一特定截面的体积 (3)流导C、流阻Z 表征气体沿管道流动的动力或阻力 Q=C(P2-P1), P1、P2为管道两端的压强 (2)流量Q（体积流率） 单位时间流过管道某一特定截面的的气体分子的量 第二十九页，共六十六页，2022年，8月28日 稳定流动状态下流量守恒 串连： 并连： 串连时总流导小于任何连接的流导 第三十页，共六十六页，2022年，8月28日 (4)泵抽速S 泵入口处单位时间抽入的气体体积 (6)泵的有效抽速（实际抽速） 当一个容器由一根管道连接到泵进行抽气时，在容器出口处的抽速。 (5)泵抽除量R 表征泵的抽气能力 R=P1S 第三十一页，共六十六页，2022年，8月28日 实际抽速的计算： S=Q/P=截面积*流速 系统实际抽速 Q=Sp·Pr=S·P=C(P-Pr) 第三十二页，共六十六页，2022年，8月28日 真空计的位置 p0, S0 p, S 实际压强要比测量压强高 第三十三页，共六十六页，2022年，8月28日 （7）极限真空度 只考虑泵抽气过程总存在气体回流量Qp 净流量： 令Q=0,求出极限真空度 第三十四页，共六十六页，2022年，8月28日 分离变量，积分得： 其中： Pi为真空室初始真空度（t=0） P0为真空室极限真空度（t→∞） Pt为真空室某一时刻真空度 第三十五页，共六十六页，2022年，8月28日 第四节.抽真空和抽真空设备 一、 抽真空 是利用各种真空泵将被抽容器中的气体抽出，使该空间的压强低于一个大气压的过程。 可有多种方法实现抽真空 真空泵：抽真空的装置 第三十六页，共六十六页，2022年，8月28日 3.抽真空和抽真空设备 二、真空泵 目前常用的真空泵主要有：旋转式机械真空泵、油扩散泵、复合分子泵、分子筛吸附泵、钛升华泵、溅射离子泵和低温泵等。前三种属于气体传输泵，后四种属于气体捕获泵。 能使压力从一个大气压力开始变小，进行排气的泵常称为“前级泵”；另一些却只能从较低压力抽到更低压力，这些真空泵常称为“次级泵”。 第三十七页，共六十六页，2022年，8月28日 （1）旋转式机械真空泵 机械泵：凡是利用机械运动以获得真空的泵，因用油来进行密封，所以属于有油类泵。 原理：利用机械力连续抽气、压缩排除气体。 第三十八页，共六十六页，2022年，8月28日 工作过程： 气体从入口进入转子和定子之间 偏轴转子压缩空气并输送到出口 气体在出口累积到一定压强，喷出到大气 工作范围及特点： 大气压?10-3 torr 耐用，便宜 油润滑，污染 第三十九页，共六十六页，2022年，8月28日 旋片式机械泵工作示意图 第四十页，共六十六页，2022年，8月28日 理想情况下，旋片转动半周后，腔体内压强： n无限大时，p趋向0；极限真空pm 有害空间 排气空间与吸气空间的间隙 泵油气的循环 第四十一页，共六十六页，2022年，8月28日 第四十二页，共六十六页，2022年，8月28日 特点: 1.体积小、重量轻、结构简单工作可靠、经济耐用。 2.设有气镇阀，可抽除少量水蒸气；但降低系统的真空度。 3.不适用于抽除对金属有腐蚀的，对泵油起化学反应、含有颗粒尘埃的气体，易燃易爆的气体。 4. 抽真空的能力不好。 5.润滑油的回流和会发会对真空系统造成污染。 第四十三页，共六十六页，2022年，8月28日 (2)扩散泵 第四十四页，共六十六页，2022年，8月28日 （一 概述） 油扩散真空泵是用来获得高真空和超高真空的主要设备，广泛用于电子工业、化学工业、真空冶炼等高科技领域。 油扩散泵的工作压力范围10-1－10-６Pａ，其极限压力是10-8Pa。 油扩散泵一定要在压力低于40Pa的时候才能开油扩散泵，分子泵则要低于1Pa才能启动。 第四十五页，共六十六页，2022年，8月28日 （二）　油扩散泵工作原理 接机械泵 扩散泵油被泵外电炉加热产生油蒸气 油蒸气沿蒸气导管上升到管顶 油蒸气经伞形喷嘴向下喷出产生射流 气体分子与射流中油分子碰撞发生动量交换 气体分子与射流一起向下运动 油蒸汽与水冷的泵壁相遇而冷却回流 气体分子则被带到排气口附近被抽走 第四十六页，共六十六页，2022年，8月28日 扩散泵的压缩比 n蒸汽流分子密度,v蒸汽流在喷口处的速度，L射流的有效长度，D0