一种钽材料EBSD样品的表面处理方法[发明专利].pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111487268 A (43)申请公布日 2020.08.04 (21)申请号 202010345406.9 (22)申请日 2020.04.27 (71)申请人 宁波江丰电子材料股份有限公司 地址 315400 浙江省宁波市余姚市经济开 发区名邦科技工业园区安山路 (72)发明人 姚力军　潘杰　边逸军　王学泽　 李小萍　 (74)专利代理机构 北京远智汇知识产权代理有 限公司 11659 代理人 王岩 (51)Int.Cl. G01N 23/20008(2018.01) G01N 1/32(2006.01) G01N 1/34(2006.01) 权利要求书2页 说明书11页 附图9页 (54)发明名称 一种钽材料EBSD样品的表面处理方法 (57)摘要 本发明提供了一种钽材料EBSD样品的表面 处理方法，包括：依次使用400#砂纸与1000#砂纸 对钽材料的测试面进行第一次机械抛光处理与 第二次机械抛光处理，得到经初步处理的钽材 料；对所得经初步处理的钽材料进行第三次抛光 处理；使用第一混合酸液对所得经第三次抛光处 理后的钽材料进行第一次化学抛光处理；使用第 二混合酸液对所得经第一次化学抛光处理后的 钽材料进行第二次化学抛光处理；清洗所得经第 二次化学抛光处理后的钽材料，完成钽材料EBSD 样品的表面处理。本发明所述表面处理方法操作 简单，能够对具有极高抗腐蚀性的钽材料进行表 A 面处理，从而实现钽材料EBSD样品的表面处理。 8 6 2 7 8 4 1 1 1 N C CN 111487268 A 权　利　要　求　书 1/2页 1.一种钽材料EBSD样品的表面处理方法，其特征在于，所述表面处理方法包括如下步 骤： (1)依次使用400#砂纸与1000#砂纸对钽材料的测试面进行第一次机械抛光处理与第 二次机械抛光处理，得到经初步处理的钽材料； (2)对步骤(1)所得经初步处理的钽材料进行第三次抛光处理； (3)使用第一混合酸液对步骤(2)所得经第三次抛光处理后的钽材料进行第一次化学 抛光处理； (4)使用第二混合酸液对步骤(3)所得经第一次化学抛光处理后的钽材料进行第二次 化学抛光处理； (5)清洗步骤(4)所得经第二次化学抛光处理后的钽材料，完成钽材料EBSD样品的表面 处理。 2.根据权利要求1所述的表面处理方法，其特征在于，步骤(2)所述第三次表面处理的 方法包括使用2000#砂纸进行机械抛光处理和/或电解抛光处理。 3.根据权利要求2所述的表面处理方法，其特征在于，所述使用2000#砂纸进行机械抛 光处理的时间为8-10min。 4.根据权利要求2或3所述的表面处理方法，其特征在于，所述电解抛光处理的参数为： 电压38-42V；电流1.5-1.9A；温度25-30℃；电解抛光时间50-80s； 优选地，所述电解抛光所用电解抛光液由硝酸溶液、氢氟酸溶液以及无水乙醇按照体 积比(4-7):(0.6-0.8):(15-18)组成，其中硝酸溶液的质量浓度为60-66％，氢氟酸溶液的 浓度为40-44％。 5.根据权利要求1-4任一项所述的表面处理方法，其特征在于，步骤(1)所述使用400# 砂纸进行第一次机械抛光处理时，使钽材料测试面的厚度降低0.4-0.5mm，优选为0.42- 0.45mm。 6.根据权利要求5所述的表面处理方法，其特征在于，步骤(1)所述使