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本发明公开了一种超硬疏水自清洁薄膜的制备方法。方法包括：一、基体前处理；二、镀膜前准备；三、制备Cr/CrN周期膜；四、等离子刻蚀；五、Al2O3颗粒表面改性；六、有机溶液修饰制备疏水膜，得到致密均匀‑超硬‑疏水‑耐蚀的复合薄膜。本方法将物理的沉积方法和化学浸饰的方法结合，相互取长补短，充分发挥各自的优势，磁控溅射持续稳定，制备的薄膜致密均匀，周期膜可大幅度提高复合膜层的硬度，释放应力，增加韧性。有机溶液修饰可降低表面能，提高表面的疏水性能，而且Al2O3颗粒表面改性后掺杂有机溶液中修饰可二次提
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113584444 A
(43)申请公布日 2021.11.02
(21)申请号 202110757174.2 C09D 7/62 (2018.01)
(22)申请日 20
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