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提供了用于收集器流动环(CFR)壳体的系统、设备和方法,收集器流动环(CFR)壳体被配置为减轻燃料碎屑在极紫外(EUV)辐射系统中的积聚。示例CFR壳体可以包括多个喷头流动通道出口,该多个喷头流动通道出口被配置为在CFR壳体的等离子体面向的表面的多个部分之上输出多个第一气态流体流动。示例CFR壳体还可以包括檐槽清洗流动通道出口,该檐槽清洗流动通道出口被配置为在CFR壳体的燃料碎屑接收表面之上输出第二气态流体流动。示例CFR壳体还可包括被配置为支持护罩组装件的护罩安装结构、被配置为输送流体的冷却流
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114846410 A
(43)申请公布日 2022.08.02
(21)申请号 202080089564.0 E ·J ·S ·约翰逊
(22)申请日 2020.12.09
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