原创力文档- 1
- 0
- 约1.91万字
- 约 20页
- 2023-05-18 发布于四川
- 举报
各个实施方式包括处理硬掩模的方法，所述方法包括形成掺混碳硬掩模，所述掺混碳硬掩模覆于下层上方。在一实施方式中，所述掺混碳硬掩模以金属碳填充物掺混。所述实施方式进一步包括图案化所述掺混碳硬掩模并且将所述掺混碳硬掩模的图案转移到所述下层中。根据一实施方式，所述方法可进一步包括：从所述掺混碳硬掩模移除所述金属碳填充物的金属成分，以形成多孔碳硬掩模。之后，可移除所述多孔碳硬掩模。在一实施方式中，移除所述金属碳填充物的金属成分可包括：使处理气体流进腔室，以使所述金属碳填充物的金属成分挥发。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 109844906 A
(43)申请公布日
2019.06.04
(21)申请号 20178
文档评论（0）