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检测和分析来自半导体腔室部件的纳米颗粒的方法和设备.pdfVIP

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  • 2023-05-18 发布于四川
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检测和分析来自半导体腔室部件的纳米颗粒的方法和设备.pdf

    在此提供用于分析和检测来自半导体制造部件的液体中的纳米颗粒的方法和设备。在某些实施方式中，确定基板处理腔室部件清洁溶液中的纳米颗粒的颗粒数、颗粒尺寸及ζ电位的方法包括：(a)以来自基板处理腔室部件清洁槽内的清洁溶液填充样本槽，基板处理腔室部件清洁槽装有半导体处理腔室部件；(b)将来自激光器的光导向该样本槽，其中该清洁溶液中的纳米颗粒散射来自该激光器的光；及(c)经由位在该样本槽附近的一个或多个检测器来检测散射光以确定该清洁溶液中的纳米颗粒的ζ电位、颗粒尺寸及颗粒数。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 109937470 A (43)申请公布日 2019.06.25 (21)申请号 20178

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