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本发明公开了一种共焦显微拉曼光谱光学缺陷检测系统，涉及拉曼光谱分析技术领域，通过两种过滤：其一是利用显微共焦技术控制系统的微区扫描位置，并滤除非焦区域的散射光信号；其二是利用拉曼散射光频率改变的性质，滤除强反射光以及背景杂散光。最后通过分析样品不同位置的拉曼光谱变化情况，进而间接实现对表面缺陷的表征。采用了扫描振镜进行光束控制，速度快、控制精度高，解决了大口径光学元件的快速检测问题。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114894772 A
(43)申请公布日 2022.08.12
(21)申请号 202210517608.6
(22)申请日 2022.05.13
(71)申请人 泉州装备制造研究所
地址 3620
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