洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制技术要求 编制说明.docxVIP

编制说明 一、工作简况 根据《国家标准化管理委员会关于下达 2022 年第二批 推荐性国家标准计划及相关标准外文版计划的通知》(国标 委发〔2022〕22 号)，全国洁净室及相关受控环境标准化技 术委员会(SAC/TC319)组织成立了《洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制技术要求》(国家标准计划： T- 469)国家标准的起草工作组， 工作组的主要组成单位是： 中 国电子工程设计院 、 中国标准化协会、 中国电子系统工程第 三建设有限公司 、北京戴纳实验科技有限公司 、天津大学、 中芯国际集成电路制造(北京) 有限公司 、苏州安泰空气技 术有限公司、苏州华泰空气过滤器有限公司、深圳市亿天净 化技术有限公司等。 起草工作组严格按照国家标准制定工作 程序开展工作，于 2023 年 3 月 7 日召开了第一次工作会议， 制定了工作计划， 对标准草案进行了讨论。 至 2023 年 5 月组 织了多次线上讨论会， 起草工作对标准草案进行多轮修改， 形成了标准征求意见稿。 二、国家标准修订原则、主要内容及其确定依据 (一) 标准修订原则 以集成电路芯片和平板显示器为代表的高科技产业， 随 着产品生产技术的发展， 对生产洁净室内的空气化学污染控 制提出了严格的要求， 原有标准《洁净室及相关受控环境空 气化学污染控制指南》 GB/T 36306-2018 在编制时， 国内类 似洁净室还很少， 其中对化学污染控制的要求已不能满足现 有洁净室建设及运行维护的要求。 ISO 14644-8 已于 2013 年更新发布， 我国在翻译和理解准确的基础上，将 ISO 14644-8： 2013 等同转化为国家推荐标准 GB/T 25915.8— 2021 洁净室及相关受控环境 第 8 部分： 按化学物浓度划分 空气洁净度(ACC)等级， 该标准为本次修订的主要引用标准。 (二) 主要修订内容 本标准修订， 根据我国目前洁净室技术的发展， 尤其是 电子行业中的集成电路芯片、平板显示器等高科技产业发展， 随着产品制造技术的不断提高， 对生产环境洁净室的要求也 不断提高， 对洁净室内的空气化学污染物的控制提出的严格 的控制要求； 我国近年建造并投入运行了多座 12 时芯片工 厂及 OLED 平板显示器工厂，这些工厂均需对洁净室内空气 化学污染进行控制， 积累了丰富的设计、施工、运行维护经 验。同时国标委也更新了《洁净室及相关受控环境》GB/T25915 系列标准， 为本标准的修订提供了技术支持。本标准修订主 要有以下几方面内容： 1 第 1 部分 范围。将 “ 空气化学污染控制的检测、控 制等指南”修改为“ 空气化学污染物控制技术要求、检测和监 测方法”，将“本标准适用于微电子、光电子工厂以及特殊需 求的生产、研究等洁净室及相关受控环境的空气化学污染控 制”修改为“本文件适用于对空气化学污染有控制要求的洁净 室及相关受控环境”； 2 第 2 部分 规范性引用文件。更新规范版本及名称； 3 第 3 部分 术语和定义。新增“化学污染物、按化学物 浓度划分空气洁净度等级、释出气体”术语， 修改“ 空气化学 污染”的定义； 4 第 4 部分 污染源、分级与分类。修改了 4.1 部分内 容及 4.2 的引用文件； 5 第 5 部分修改为“化学污染控制”，从“选址、设计、施 工及验收、运行维护”方面增加化学污染控制技术要求。 6 第 6 部分修改为“检测与监测”， 新增 6.1“一般要求”， 增加 6.2.2“材料检测方法”， 对送检材料的检测方法、材料规 格提出要求， 新增 6.3“监测”内容， 对风险评估、设置监测设 施的位置、监测分析仪器的校核提供技术要求。 7 附录 D 中的 D4、D5、D6 及表 D6、D7、D8 进行了修改， 补充了附录 E。 ( 三 )确定依据 本标准修订， 根据我国目前洁净室技术的发展， 尤其是 电子行业中的集成电路芯片、平板显示器等高科技产业发展， 随着产品制造技术的不断提高， 对生产环境洁净室的要求也 不断提高， 对洁净室内的空气化学污染物的控制提出的严格 的控制要求；我国近年建造并投入运行了多座 12 时芯片工 厂及 OLED 平板显示器工厂，这些工厂均需对洁净室内空气 化学污染进行控制， 积累了丰富的设计、施工、运行维护经 验。同时国标委也更新了《洁净室及相关受控环境》GB/T25915 系列标准，为本标准的修订提供了技术支持。 三、试验验证的分析、综述报告， 技术经济论证， 预期 的经济效益、社会效益和生态效益； (一)调研 修订起