洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制技术要求 征求意见稿.docx

ICS 13.040.35 CCS C70 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T36306—202X 代替 GB/T 36306-2018 ` 洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制技术要求 Cleanroom and related controlled environments— Technical requirements of air chemical contamination control (征求意见稿) XXXX-XX-XX 发布 XXXX-XX-XX 实施 GB/T36306—202X I 目 次 前言 II 引言 III 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 污染源、分级与分类 1 5 化学污染控制 2 6 检测与监测 3 附录 A(资料性) 微电子工业洁净室空气化学污染控制标准 7 附录 B(资料性) 洁净室建筑材料应用 7 附录 C (资料性) 控制化学分子污染设施系统 9 附录 D (资料性) 空气化学污染物测量方法与相关分析测定仪器 11 参考文献 13 GB/T36306—202X II 前 言 本文件按照GB/T 1.1—2020 《标准化工作导则 第1部分： 标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件代替GB/T 36306-2018 《洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制指南》，与GB/T 36306- 2018相比， 除结构调整和编辑性改动外， 主要技术变化如下： a) 更改了标准适用范围(见第 1 章， 2018 版的第 1 章)； b) 术语和定义： ——增加了化学污染物、 按化学物浓度划分空气洁净度(ACC) 等级、污染物类别、释出气体等术 语 (见 3.1，3.6，3.7，3.8)； ——更改了空气化学污染的定义 (见 3.5，2018 版的 3.5) ； c) 化学污染控制： ——更改标题为“化学污染控制”(见第 5 章， 2018 版的第 6 章) ； ——增加了选址、设计、施工及验收、运行维护的内容(见 5.1，5.2，5.3，5.4)； ——删除了确定是否污染及情况、控制措施的内容(见 2018 版的 6.1，6.2) d) 检测与监测： ——更改标题为“检测与监测”(见第 6 章， 2018 版的第 5 章)； ——更改了检测的内容(见 6.1，2018 版的第 5 章)； ——增加了监测的内容(见 6.2)； e) 更改了附录 D 中的 D4、D5、D6 及表 D6、D7、D8 的内容(见附录 D，2018 版的附录 D)； f) 增加了附录 E 的内容(见附录 E) ； g) 更改了参考文献(见参考文献， 2018 版的参考文献) . 请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319) 提出并归口。 本文件起草单位： 本文件主要起草人： 本文件及其所替代文件的历次版本发布情况为： ——2018 年首次发布为 GB/T 36306-2018； ——本次为第一次修订。 GB/T36306—202X III 引 言 空气化学污染物的特点: a) 平均尺寸为 0.2nm~3 nm 的范围； b) 通常状态下是以气体、蒸汽或气溶胶形态存在； c) 可以是有机物、无机物， 或者是有机物和无机物的混合物； d) 可以完全穿透常规高效过滤器/超高效过滤器; e) 不能使用粒子计数器检测。 空气污染控制技术主要针对对空气化学污染有控制要求的洁净室及相关受控环境。 《洁净室及相关受控环境 第8部分： 按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级》(GB/T 25915.8— 2021) 中污染物类别：酸、碱、 生物毒素、可凝聚物、腐蚀剂、掺杂物、有机物、氧化剂。但即使同类 中的不同污染物之间性质差别还是很大,某些污染物的浓度可随环境的温度、湿度变化而改变以及污染 源有很大的随机性等, 且品种、数量之多已是不胜枚举。由于改性活性炭技术的发展,对于很多污染气 体已能达到有效去除,有针对性的控制空气化学污染。在应用中,供应商提供的不仅仅是化学过滤器, 而 是根据现场环境的特点提供最有效的解决方案。准确提供洁净室及相关受控环境中污染气体的种类和 浓度控制标准,将为过滤器供应商更合理的选用充填介质的配方及配比提供可靠依据,有利于控制环境 中的化学污染物达到所在环境限定的浓度